所在地：上海 ·
成立时间：2005-06-27
网址：http://www.rsicsh.com/
公司简介：睿励科学仪器是一家集成电路工艺检测设备制造商，致力于研发、生产和销售具有自主知识产权的集成电路生产制造工艺装备产业中的工艺检测设备，具体包括光学测量设备、光学关键尺寸分析系统、镓液态离子源、等离子体灰化设备等科学仪器与微电子产品。
